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スパッタリング/Sputtering

スパッタリング/スパッター/Sputtering/Sputter

中国語:
溅射 Jiàn shè
※繁体字:濺射

💡豆知識:
スパッタリングは薄膜生成技術の一つであり、物理蒸着法または物理気相成長と呼ばれる(Physical Vapor Deposition:PVD)の一種です。スパッター装置内のチャンバーに成膜させたい原材料(ターゲット)と基材を設置して、真空状態にして不活性ガスを充填させ、ターゲットにマイナスの電圧を印加してグロー放電させることでターゲットの粒子を激しく弾き出し、基材に成膜させる技術

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